一、接触测量时接触定位方式的选择
在仪器校正计量检测中,用接触法测量时,不同的被测量对象应选用不同的测头或测帽。为减少接触方式不正确带来的测量不确定度,在选择测量头时,国产三坐标生产厂家,应尽可能使测量头与被测件成点或线接触。因此,平面形工件采用球面测头,圆柱形工件采用刀口或圆柱测头,球面形工件采用平面测头。因为测量力和接触的形式不同,对接触变形的影响也不同,所以在高精度测量时,要准确选择测量力和测头工作面半径,并在测量结果中进行接触变形误差修正。
二、温度对测量结果的影响
仪器校准计量检测的时候温度变化也是产生变形的主要因素。量具、仪器和工件在测量前要有一段时间在规定的温度范围内等温。测量过程中环境温度波动要小,要恒定在规定的范围内;尽可能不直接用手接触量具、仪器和工作。在高精度测量时,还需将人与仪器隔离。如接触式干涉仪使用时,需用隔离屏将人的呼吸与仪器隔离,操作时带手套,测量时用导热系数低的木夹子夹带工作。对于高等级的量块、线纹尺除有很高的环境要求外还要对其温度进行测量并加以修正。
三、正确选择测量基面
计量校准的过程中,要正确选择被测件的一个合适的几何要素(点、线或面)作为测量基准。基面选择时要遵守基准统一原则。但有时加工过程中由于种种原因使得工艺基准不能和设计基准重合,而测量时难以选择设计基准为测量基准。
照明系统发出单色激光1,通过反射镜2、聚光镜及光阑4射人仪器内半透反光镜5,通过准直物镜12折射为平行光后,射向标准平晶13和被检平晶14,标准平晶1 3和被检平晶1 4反射回来的光重叠形成相干光束。
相干光反束射回经半反射镜5、反射镜6、转向镜组7及射入光阑8,通过观测物镜9成像在测微目镜 的分划板1 0上,通过目镜组11可以看到干涉条纹及测量干涉条纹的弯曲及校准计量干涉条纹的间距。
激光平面干涉仪计量检测工作原理
当一束给定波长久的单色平行光照射到由两个平面组成楔形角z很小的空气楔时,被两平面分别反射回来的两束相干光在相遇处存在一定的光程差,这个光程差△只与空气隙的厚度^有关,厚度相同的地方,两束反射光的光程差相同,因此在同一条干涉条纹出现的地方正是有空气隙厚度相同的地方所产生的反射光形成的,称之为“等厚干涉原理。
外校仪器等厚干涉条纹的形状决定于空气隙厚度相同的地方的轨迹。
因此,根据干涉条纹的形确定平面度。
一、启动前的注意事项:
1.检查真空泵的油位,以确保真空泵中的油位在校准的上下管线之间;
2.检查离子源,ESI源的清洁度,以检查喷嘴上是否有固体分离,以及毛细管口是否完好; APCI喷嘴处是否有液体积聚;
3.气压,打开高纯氮气瓶主阀,调节出口压力至0.65MPa,打开高纯氦瓶主阀,调节出口压力至0.25Mpa;
4.检查壳气和辅助气接口的连接和紧固,并松开液相管线和离子源之间的接口;
5.打开电源,电压稳定正常;
6.确保室内温度在18至25度之间。
二、计量检测质谱仪启动顺序:
1.打开UPS和氮气发生器开关,在氮气压力表稳定后,打开机械泵上的电源开关;
2.机械泵工作至少15分钟后,打开质谱仪电源的主开关,并等待系统抽真空24小时以上,然后仪器才能正常扫描;初始真空度为7?9。
3.打开液体泵,自动进样器和柱温箱的电源开关;
4.启动计算机,然后在计算机的桌面上打开Analysis软件。
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