臭氧催化氧化塔又称为臭氧催化氧化反应罐、臭氧氧化塔。塔内部设置有布水板、曝气盘和填料，上部侧面设置有进水口，下部侧面设置有臭氧进口，上部或侧面设置有排水口。提高臭氧的利用率，可以循环利用尾气，装置紧凑及占地面积较小。
臭氧催化氧化塔主要由氧化塔壳体、专有塔内组件及专有臭氧催化剂催化剂组成。专有塔内组件实现了臭氧与废水的高效混合，装置的气水吸收系统采用钛材质曝气盘进行臭氧曝气，增大了臭氧在废水中的溶解度，结合我公司研制的臭氧催化剂系列产品，保证臭氧的高效利用率。采用臭氧催化氧化塔的形式，可有效解决传统臭氧氧化池存在的问题.
用臭氧氧化法处理废水所使用的是含低浓度臭氧的空气或氧气。臭氧是一种不稳定、易分解的强氧化剂，要现场制造。臭氧氧化法水处理的工艺设施主要由臭氧发生器和气水接触设备组成。