施工单位:潍坊科力尔净化工程有限公司
适应行业:电子、微电子、半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造等
建议等级:1级-10万级
潍坊电子无尘净化车间净化方案一:
组合式空气处理机组+冷水机组+高效送风口
这是一个Zui传统的净化空调系统的设计方案。组合式空气处理机组里含有各种功能段,如混合段、初效过滤段、表冷段、二次回风段(或中间段)、加热段、加湿段、中效过滤段、风机段等。其冷源由冷水机组提供。
方案特点:
A.建议新风经过集中处理后再与回风混合,这样可以减少表冷段的冷处理负担;
C.这类方案一般可以适用洁净度较高的如百级、千级或万级、十万级等较低的净化无尘厂房。
净化方案二:
水冷柜机+增压风柜+高效送风口
与前种方案比较,这是相对比较简单的空调方案。它可以大大地缩小机房的面积,水冷柜机可以根据具体的情况布置于较小机房内或净化车间内,增压风柜也可以布置于机房内或吊在机房内或在夹层内。
方案特点:
这种方案可以是一次回风也可以是二次回风,具体根据车间的大小情况而定;这类方案一般可以适用于洁净度为千级、万级、十万级等的净化无尘厂房。
净化方案三:
分体空调柜机+FFU送风口
这是Zui简易的一个空调方案。是直接将分体空调柜机布置于车间内,并用彩钢围护起来,在柜机回风口处再在彩钢板上开回风口(带初效过滤网);KLC风机过滤单元FFU均匀布置于吊顶天花。这个方案适用于对室内温湿度精度要求不高的无尘车间。
方案特点:
A、无尘车间的洁净度:LCD制屏的简略流程为:清洗→印刷取向膜→磨擦→密封印刷层散布隔垫物→组合→划线和切割→LC注入→贴偏振片→制屏终检。
B、温湿度要求:温度一般为24+2℃,相对湿度为55+5%。
C、新风量大
D、送风量大
电子无尘净化车间洁净等级说明:
等级 | 等级说明及车间应用 |
1级 | 这个级别的无尘车间主要用于制造集成电路的微电子工业,对集成电路的要求为亚微米 |
10级 | 这个级别的无尘车间主要用于带宽小于2微米的半导体工业 |
100级 | 很多人认为,这一级无尘车间是Zui常用是Zui重要的无尘车间,人们常常错误地将100级洁净室称为无菌室,以说明“无菌”的或“无尘”的环境要求,100级无尘室可用于医药工业的无菌制造工艺等,这一洁净室大量应用于,植如体内物品的制造,外科手术,包括移植手术,集成器的制造,那些对细菌感染特别敏感的病人的隔离治疗,比如像骨髓移植病人术后的隔离治疗 |
1000级 | 这个级别的无尘车间主要用于高质量光学产品的生产,还用于测试,装配飞机蛇螺仪,装配高质微型轴承等 |
10000级 | 万级无尘车间用于液压设备或气压设备的装配,某些情况下也用于食品饮料工业,万级无尘车间在医工业中也很常用 |
100000级 | 十万级无尘车间用于很多的工业部门,比如光学产品的制造,用于较小的元器件制造大型的电子系统,液压或气压系统的制造,食品饮料的生产,医、药工业也常常使用这一级无尘车间 |
洁净室(区)空气洁净级别表:
洁净度级别 | 尘粒Zui大允许数/立方米≥0.5μm尘粒数 | ≥5μm尘粒数 | 微生物Zui大允许数浮游菌/立方米 | 沉降菌/皿 |
100级 | 3,500 | 0 | 5 | 1 |
10,000级 | 350,000 | 2,000 | 100 | 3 |
100,000级 | 3,500,000 | 20,000 | 500 | 10 |
300,000级 | 10,500,000 | 60,000 | 1000 | 15 |
光学微电子净化工程换气参数:
换气次数: | 100000级≥15次;10000级≥20次;1000≥30次 | 压差: | 主车间对相邻房间≥5Pa |
平均风速: | 10级、100级0.3-0.5m/s | 温度: | 冬季>16℃;夏季 <26℃;波动±2℃ |
噪声: | ≤65dB(A) | ||
新风补充量: | 新风补充量是总送风量的10%-30% | ||
照度: | 300LX |
电子无尘净化车间设计规范
光学微电子净化工程亦名无尘室或清净室,目前已是半导体、精密制造、液晶制造、光学制造、线路板制造和生物化学、医药、食品制造等行业不可或缺的重要设施。近几年来,由于技术之创新发展,对于产品的高精密度化、细小型化之需求更为迫切,如超大型积体电路之研究制造,已成为在科技发展上极为重视的项目,而我公司的设计理念及施工技术在行业中则处于领先地位。