小型一体化污水处理设备
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经过生化处理后的废纸造纸废水，大部分有机污染物都得到了去除，但仍有少量醛类、酯类、苯及烷烃未被降解，呈生物难降解性。对于这些物质可利用吸附、化学氧化和膜过滤等物理化学方法去除。
1吸附法：造纸废水处理中常用的吸附剂有活性炭和粉煤灰等。AliceAntony等发现颗粒活性炭(GAC)可有效去除生化出水中的生物难降解有机物，且废水中污染物的分子量及芳香族化合物含量是影响GAC处理效果的关键因素。另有研究以发电厂废弃物炉底灰作为吸附剂，也取得了较好的处理效果，且炉底灰颗粒有机碳含量越高、颗粒越小，对有机污染物吸附作用越好。
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2化学氧化：Fenton试剂和臭氧是常用的氧化剂。MarcoSLucas采用中试规模Fenton试剂处理生化出水，结果表明COD去除率超过90%。Korhonen采用臭氧氧化深度处理造纸废水，COD的去除率达到了65%。Schmidt和Lange研究指出以臭氧作为三级处理工艺，可去除87%～97%的COD和97%的BOD。Sevimli和Sarikaya用高剂量的臭氧处理造纸废水15min，色度的去除率达到了97%。此外，有研究者还发现经过臭氧处理后的造纸废水，不仅COD、TOC含量和毒性明显降低，且生物可降解性得到了提高。在臭氧氧化的基础上，也有研究者探讨基于臭氧的催化氧化工艺对废纸造纸废水的处理性能。
Fontanier以催化臭氧氧化过程作为三级处理工艺处理三个不同造纸厂的生化处理出水，研究结果表明催化臭氧氧化可获得36~76%的COD去除率，废水的水质特性对臭氧的消耗量有较大的影响。Torrades利用多相光催化和臭氧氧化处理造纸废水，TOC、COD、AOX和色度的去除率理想。湿式氧化也是去除难降解有机物的有效方法，但是湿式氧化需要高温高压的反应条件，并且反应时间较长。KindsigoM提出解决该问题的有效途径是催化湿式氧化，并采用油页岩碱性灰(爱沙尼亚热量和电力生产的废弃物)和Pt分别作为催化剂进行对比研究，结果发现碱性灰作为催化剂对COD、TOC及木质素处理效果更好，且所需反应时间短，温度和压强也相对较低。
膜过滤：膜处理技术应用于废纸造纸废水处理的工艺，以微滤和超滤技术为主。Falth研究指出膜分离技术可有效去除造纸废水中的COD、色度和AOX。DePinho研究超滤技术对TOC、色度和SS的去除率分别达到了54%、88%，且后续加入溶气气浮工艺，可进一步提高TOC的去除效率。四川某造纸厂采用微滤技术，该工艺对SS去除率达到90%以上，COD去除率达到85%以上，出水达标，运行稳定。
废纸造纸废水的SS、COD浓度较高，且非溶解性COD占COD组成总量的大部分。因此，通常采用沉淀或气浮的方法，去除废水中SS，如纤维、胶料、涂料和化学药剂残渣等，为了提高沉淀或气浮的效果，通常在沉淀或气浮过程之前进行混凝处理。